
可调谐二极管激光光谱(TDL)测量微量水分分析仪,适用于半导体晶圆生产电子级氯化氢气体监测

DF-730设计用于半导体圆晶制造中电子级HCL气体中微量水的监测,它的灵敏度高,是质量控制和泄漏检测应用的理想选择。
仕富梅行业领先的TDL传感器技术和坚固的测量池具有较为宽泛的测量范围:1ppb-10ppm。
DF-730确保水分只有接触到最小的光学元件,使它的性能不受镜面反射损失的影响-测量响应快速,稳定,准确的和一致的。
该设备也进行了优化,性价比高,产品寿命长,领先的TDL传感技术提供了零点漂移,有助于延长维修周期、降低校准的需求,这些方面结合起来,使DF-730是半导体晶圆厂的一个理想的解决方案,以其高性能,超稳定的监测能力大大的节省运营成本。

分析不受测量池气体浓度的影响:DF-730操作规范可高达90%的信号损失。
1 ppb的检测限。
仕富梅超过60年的制造经验,上千台的分析仪应用在各种场合。

可调谐二极管激光光谱(TDL)传感技术提供了高稳定性和光学元件的较少的水分接触。
较大的测量范围:1ppb – 10ppm。
可通过前面板或数字通信选项进行操作。

简化的维护,无需耗材。
高可靠性;可重复基线测量不受镜面反射损失的影响。

使用超稳定的TDL传感技术可延长维护周期。
零点漂移小降低校准要求。

半导体晶元厂HCL气体的质量控制。

符合IEC 61010-1
超压II类,污染度2
欧盟电磁兼容认证
欧盟低压认证

尺寸:465mm (12.1") Wide x 190 (7.9") High x 253mm (9.9") Deep
重量:<31.8kg (70lbs)

010-88572008

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