中文 | English
Tel:010-88572008
Site:Home > Product > SERVOTOUGH高纯气体分析仪

DF SERIES DF-730 NanoTrace

 

可调谐二极管激光光谱(TDL)测量微量水分分析仪,适用于半导体晶圆生产电子级氯化氢气体监测

 

DF730  Nano Trace Moisture Analyser  Operaor Manual 022513

DF730 中文样本

特点

 DF-730设计用于半导体圆晶制造中电子级HCL气体中微量水的监测,它的灵敏度高,是质量控制和泄漏检测应用的理想选择。

 仕富梅行业领先的TDL传感器技术和坚固的测量池具有较为宽泛的测量范围:1ppb-10ppm。

 DF-730确保水分只有接触到最小的光学元件,使它的性能不受镜面反射损失的影响-测量响应快速,稳定,准确的和一致的。

 该设备也进行了优化,性价比高,产品寿命长,领先的TDL传感技术提供了零点漂移,有助于延长维修周期、降低校准的需求,这些方面结合起来,使DF-730是半导体晶圆厂的一个理想的解决方案,以其高性能,超稳定的监测能力大大的节省运营成本。

优异的性能

 分析不受测量池气体浓度的影响:DF-730操作规范可高达90%的信号损失。
 1 ppb的检测限。
 仕富梅超过60年的制造经验,上千台的分析仪应用在各种场合。

应用灵活

 可调谐二极管激光光谱(TDL)传感技术提供了高稳定性和光学元件的较少的水分接触。
 较大的测量范围:1ppb – 10ppm。
 可通过前面板或数字通信选项进行操作。

使用简便

 简化的维护,无需耗材。
 高可靠性;可重复基线测量不受镜面反射损失的影响。

成本较低

 使用超稳定的TDL传感技术可延长维护周期。
 零点漂移小降低校准要求。

关键应用

 半导体晶元厂HCL气体的质量控制。

适用规范和认证

 符合IEC 61010-1

 超压II类,污染度2

 欧盟电磁兼容认证

 欧盟低压认证

设备规格

 尺寸:465mm (12.1") Wide x 190 (7.9") High x 253mm (9.9") Deep
 重量:<31.8kg (70lbs)