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DF-750 NanoTrace

 

使用可调谐半导体激光光谱技术(TDL)测量微量/超微量的水分,在半导体晶圆厂进行质量控制

 

DF750  Nano Trace

 

特点

 DF-750专为使用在半导体产业中首选的在超高纯度气体中测量微量和超微量的水分分析仪测量电子级氮气、氢气、氦气和氧气中的水分测量。

 仕富梅使用业界领先的TDL传感技术提供业界领先的100ppt的最低检测限,能够提供一个稳定的,高度精确的,满足半导体生产的精确监测需求。

 该分析仪还提供了有吸引力的超长的产品寿命,坚固的传感器结构具有较低的维护要求和提供较低的零点漂移及测量稳定性,延长了校准间隔。

 这种低成本和卓越的测量性能结合,是超高纯气体的质量检查的首选

优异的性能

 采用业界领先的、非消耗、高稳定性的微量TDL传感技术无零点漂移。

 业界领先的100ppt的检测限。

 Servomex超过60年的经验,创新开拓气体分析与应用领域,每年制造上千台的分析仪在现场。

应用灵活

 Trace level微量级可调谐二极管激光光谱(TDL)传感器通过光学元件与样气中的水分较小接触,提供了高稳定性的测量。

 较宽泛的测量范围:0 –50ppm。

 存储和调用功能:校验、系统错误、和测量数据,以便于对历史记录进行存档。

 通过前面板或可选的数据通信进行操作。

使用简便

 通过非消耗技术和较低的漂移,简化日常维护。

 TDL传感技术,可靠性高;可重复基线测量和不受反射镜的反射率损失的影响。

成本较低

 坚固的传感器结构降低了维护要求。
 零点漂移技术的应用延长了校准间隔。

关键应用

 用于300M半导体晶圆厂超高纯大宗电子气体质量控制。

 用于300M半导体晶圆厂超高纯电子气体泄漏检测。

适用规范和认证

 符合IEC 61010-1

 超压II类,污染度2

 欧盟电磁兼容认证

 欧盟低压认证

 

设备规格

 尺寸:483mm (19”) Wide x 266mm(10.5”) High x 608mm (23.9”) Deep
 重量:<31.8kg (70lbs)