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SERVOPRO NanoChrome

 

超高纯气体包括氢气、甲烷、一氧化碳、二氧化碳、氩气,氮气和非甲烷碳氢化合物的超痕量测量

 servopro nano chrome

特点

 SERVOPRO NanoChrome是适用于半导体行业的一种高性能分析仪,在包括He、H2、 N2、Ar和 O2等广泛常见的背景气中测量超微量H2、CH4、CO2、N2 、CO 、Ar 以及 NMHC。

 采用先进的仕富梅专门开发的新型等离子发射光谱检测器(PED)传感技术和propeak软件,NanoChrome在性能方面超过传统的火焰离子化检测器(FID)和还原气体检测器(RGD),在传感技术的安全性和稳定性,降低成本的能力方面具有相当大的优势。

 仕富梅的先进的信号矫正技术使用propeak滤波技术提供一个高灵敏度、高选择性 ,你可以信赖的测量。

 当与仕富梅的DF-500超微量氧和DF-700微量水分析仪共同使用,NANOchrome能够成为超高纯气体监测独一无二的成套解决方案。

优异的性能

 创新的高灵敏度的等离子体发射探测器(PED)可以测量超微量Ar、N2、H2、CH4和CO2,CO,和NMHC。

 propeak峰值检测技术使测量具有前所未有的灵敏度。
 直接分析法消除了FID和RGD测量的不确定性。

应用灵活

 在一个广泛包括He、H2、N2、 Ar、NMHC、Ar和O2等广泛常见的背景气中测量超微量H2、CH4、CO2、N2 、CO等气体的全面的解决方案。

 当结合DF-500和DF-700分析仪可以成为一个完全独立的超高纯气体分析的解决方案。
 可以远程访问的数字通信配置:互联网/以太网以及RS232。

使用简便

 监控软件综合了为充分色谱图,处理结果,统计和历史记录。
 内部稀释系统选项易燃气体燃料没有要求,提高安全性和简化安装。

成本较低

 非消耗的传感器和智能软件延长了校准的间隔。
 不需要甲烷转化器或消耗的燃料气。
 成本效益和简单的长期维护工作。

关键应用

 半导体生产装置-质量控制
 半导体生产装置-静态分析系统

适用规范和认证

规范:

 In compliance with Low Voltage, EMC and applicable Directives

认证:
In compliance with EMC Directives, rated for Overvoltage Category II and Pollution Degree 2

 

设备规格

 尺寸:482mm (18.9”) Wide x 117mm (4.6”) High x 600mm (23.6”) Deep
 重量:11-27kg (25-60lb) applications dependent